日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: F34
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 九州支部 第71期総会・講演会

開催日: 2018/03/16

ELID研削前加工を施したSiC-CMPにおける基板表面の高効率・高品位化の検討
*吹春 昇, 関口 寛教, 黒河 周平, 林 照剛, 松川 洋二
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キーワード: CVD-SiC, ELID grinding, CMP, Polishing pressure, Preprocess
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