日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: G26
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 九州支部 第71期総会・講演会

開催日: 2018/03/16

CNPにおけるナノ復合化微粒子に関する研究
*堺 航也, 植田 颯謙, Hiroshi YOSHIMOTO, 鈴木 恵友, NATTHAPHON BUN-ATHUEK, PANART KHAJORNRUNGRUANG
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キーワード: chemical mechanical polishing, Material removal rate, Mixed diamond slurry, Sapphire
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