日本機械学会九州支部講演論文集
Online ISSN : 2424-2780
セッションID: F44
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 九州支部 第74期総会・講演会

開催日: 2021/03/10

フェムト秒レーザを用いたダブルパルスビームによる難加工性基板の光励起加工（第二報）
～合成石英に対するマルチショット加工による加工条件の検討～
*水町 遼祐, 林 照剛, 黒河 周平, 村上 萌恵, 錦野 将元, 長谷川 登, ヂン タンフン
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キーワード: Laser Processing, Femtosecond Laser, Double-pulse Beam, Surface Excitation, Fused Silica
会議録・要旨集 認証あり

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