ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源(<小特集>プラズマ応用技術の新展開)

日本機械学会誌

Online ISSN : 2424-2675
ISSN-L : 0021-4728

ミニマルファブのための1インチサイズHiPIMSプラズマ源(<小特集>プラズマ応用技術の新展開)

行村建, 小木曽久人, 中野禅

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2014 年 117 巻 1148 号 p. 467-469

DOI https://doi.org/10.1299/jsmemag.117.1148_467

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