超精密加工技術の発達と今後の課題 : ナノテクノロジーとの関連(<特集>超精密技術)

日本機械学会誌

Online ISSN : 2424-2675
ISSN-L : 0021-4728

超精密加工技術の発達と今後の課題 : ナノテクノロジーとの関連(<特集>超精密技術)

谷口紀男

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1984 年 87 巻 791 号 p. 1101-1108

DOI https://doi.org/10.1299/jsmemag.87.791_1101

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