サーボ弁の動特性を考慮した静圧軸受エアステージの追従制御

機素潤滑設計部門講演会講演論文集

Online ISSN : 2424-3051

セッションID: C1-5

DOI https://doi.org/10.1299/jsmemdt.2016.16.C1-5

会議情報

主催: 一般社団法人日本機械学会

会議名: 第16回機素潤滑設計部門講演会

開催日: 2016/04/18 - 2016/04/19

サーボ弁の動特性を考慮した静圧軸受エアステージの追従制御

直井誠, 畠山径, 藤田壽憲

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キーワード: Pneumatics, Trajectory Control, Air Stage, Servo Valve, Air Bearings

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