年次大会
Online ISSN : 2424-2667
ISSN-L : 2424-2667
2016
セッションID: S1630201
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 2016年度 年次大会

開催日: 2016/09/11 - 2016/09/14

触媒表面基準エッチング法による GaN 基板平坦化における加工速度の高速化
稻田 辰昭, 礒橋 藍, 藤 大雪, 中平 雄太, 松山 智至, 佐野 泰久, 山内 和人
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キーワード: Gallium Nitride, GaN, Planarization, Catalyst-referred etching, Photo-electrochemical oxidation
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