年次大会
Online ISSN : 2424-2667
ISSN-L : 2424-2667
セッションID: J22108
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 2019年度 年次大会

開催日: 2019/09/08 - 2019/09/11

真空紫外光を用いたガラス製ナノスリット流路の作製
*辻 徹郎, 松本 祐貴, 川野 聡恭
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キーワード: Nanoslit, Ultra Violet Light, Nano Fabrication, MEMS
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