年次大会講演論文集
Online ISSN : 2433-1325
セッションID: G0600-5-1
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G0600-5-1 減圧沸騰噴霧を適用したCVD新気化供給法の提案 : HfO_2薄膜表面におよぼす噴射条件の影響(熱工学部門一般講演(5):伝熱(5))
大嶋 元啓, 福島 大地, 千田 二郎, 石田 耕三
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