M&M材料力学カンファレンス
Online ISSN : 2424-2845
セッションID: 310
会議情報
310 薄膜/基板への押込みに及ぼす基板材弾性異方性の影響(OS2-2 皮膜・薄膜の機械的特性,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)
千葉 矩正, 大堀 雄太, 小笠原 永久, 白戸 和規, Xi Chen
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© 2007 一般社団法人 日本機械学会
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