生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会
Online ISSN : 2424-3094
セッションID: D08
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 第12回生産加工・工作機械部門講演会

開催日: 2018/10/13 - 2018/10/14

電界スラリー制御技術における電界条件と SiC 基板の研磨特性との関係
*池田 洋, 泉 泰秀, 久住 孝幸, 赤上 陽一
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キーワード: CMP, AC electric field, Removal rate, Slurry, SiC
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