機械材料・材料加工技術講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-287X
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113 RFプラズマ支援PLD法による窒化炭素成膜とその皮膜の摩擦摩耗特性(コーティング・溶射・薄膜プロセス(1),ものづくりにおける基礎研究と先端技術の融合)
西川 隆太郎木村 真悟安井 利明福本 昌宏
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p. _113-1_-_113-3_

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© 2010 一般社団法人 日本機械学会
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