東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 224
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224 酸化皮膜を有するシリコンウェハ内へのキャビテーション噴流による酸化誘起積層欠陥の導入(流体工学IV)
甲斐 彰, 祖山 均
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© 2008 一般社団法人 日本機械学会
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