113 薄膜配線用めっき銅薄膜電気機械特性の微細組織依存性(学生賞III)

東北支部総会・講演会　講演論文集

Online ISSN : 2424-2713

セッションID: 113

DOI https://doi.org/10.1299/jsmeth.2008.43.27

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113 薄膜配線用めっき銅薄膜電気機械特性の微細組織依存性(学生賞III)

尾谷宗之, 玉川欣治, 鈴木研, 三浦英生

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