東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 201
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201 真空中における高速・超精密位置決めステージのための摩擦駆動システムの開発(学生賞III,一般講演)
磯崎 委志, 阿隅 一将, 稲田 豊, 足立 幸志
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© 2011 一般社団法人 日本機械学会
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