東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
セッションID: 105
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105 イオン液体を用いた並列型マイクロイオン源による反応性イオンエッチングの検討
吉田 凌, 原 基揚, 大口 裕之, 鈴木 達也, 桑野 博喜
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キーワード: イオン源, イオン液体, 反応性イオンエッチング, エミッタアレイ, MEMS
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