東北支部総会・講演会　講演論文集
Online ISSN : 2424-2713
2020.55
セッションID: 184_paper
会議情報

主催: The Japan Society of Mechanical Engineers

会議名: 日本機械学会 東北支部第55期総会・講演会

開催日: 2020/03/13

FABRICATION TECHNOLOGY OF QUARTZ GLASS RESONATOR USING GOLD SACRIFICIAL SUPPORT STRUCTURE
Muhammad Jehanzeb Khan, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka
著者情報
キーワード: Quartz glass, Ring resonator, Au thermocompression bonding, Glass micromachining
会議録・要旨集 認証あり

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