日本機械学会東北支部秋季講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2721
セッションID: 808
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圧電振動子を用いた平面内移動マシン(計測制御・ロボット2)
華 順明, 鈴木 勝義, 程 光明, 井坂 秀治
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© 2004 一般社団法人 日本機械学会
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