東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 538
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538 コンプライアント基板上のヘテロエピタキシャル層の臨界膜厚の解析(材料力学-材料特性の解析)
大林 克至新谷 一人
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© 2000 一般社団法人 日本機械学会
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