東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 403
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403 C-N-Si系硬質薄膜の形成及び機械的特性の評価(薄膜創成・物性)
矢賀 和樹松室 昭仁太田 英伸
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© 2001 一般社団法人 日本機械学会
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