東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 701
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701 RF放電制御を用いた熱的非平衡プラズマによる炭素系材料のCVD合成の条件(GS熱工学(エンジンなど))
上村 友孝, 石丸 和博
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© 2009 一般社団法人 日本機械学会
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