東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 530
会議情報
530 SEM中ナノインデンテーションとEBSDによる結晶方位マッピングを連携させたLSI銅配線の局所機械特性評価(OS8-2 ナノスケールフロンティアにおける材料と構造の新たな強度信頼評価手法の開拓2,OS8 ナノスケールフロンティアにおける材料と構造の新たな強度信頼評価手法の開拓)
高園 敬太, 宍戸 信之, 神谷 庄司, 佐藤 尚, 小岩 康三, 杉山 裕子, 陳 傳形, 西田 政弘, 大宮 正毅, 鈴木 貴志, 中村 友二, 長澤 忠広, 野久尾 毅
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© 2012 一般社団法人 日本機械学会
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