東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 109
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109 MVP法により超高速成膜されたSi含有DLC膜の摩擦摩耗特性に及ぼす膜構造の影響(GS1-2 表面処理)
中野 敏光, 上坂 裕之, 柴沢 穂高, 橋富 弘幸
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