セッションID: 225
会議情報
主催: 一般社団法人 日本機械学会
会議名: 日本機械学会 東海支部第67期総会・講演会
開催日: 2018/03/13 - 2018/03/14
磁歪材料ハイスループット評価用 MEMS 集積化ライブラリ製作
～評価基板におけるめっき膜厚の均一化～
キーワード:
Functional materials,
intelligent materials,
characterization,
magnetostrictive materials,
high throughput evaluation
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