東海支部総会講演会講演論文集
Online ISSN : 2424-2748
セッションID: 124
会議情報

主催: 一般社団法人 日本機械学会

会議名: 日本機械学会 東海支部第68期総会・講演会

開催日: 2019/03/07 - 2019/03/08

MEMS 共振器を用いた SiGe 膜の機械信頼性試験
*松尾 良輝, 上杉 晃生, 藤本 明, 富澤 英之, 齋藤 友博, 生津 資大
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キーワード: Silicon germanium, Material testing, Fatigue testing, MEMS, Thin film
会議録・要旨集 認証あり

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