ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料

材料

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講座

ユビキタスデバイス開発を加速する新しいエレクトロニクス材料

2．RF-MBE法によるScAlMgO₄基板上窒化物半導体の結晶成長と評価

荒木努, 出浦桃子, 藤井高志

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ジャーナルフリー

2023 年 72 巻 9 号 p. 689-694

DOI https://doi.org/10.2472/jsms.72.689

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© 2023 日本材料学会

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