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マイクロマテリアル
3. マイクロエレメント加工法
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1998 年 47 巻 2 号 p. 208-214
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- 発行日: 1998/02/15 受付日: 1997/06/10 J-STAGE公開日: 2009/06/03 受理日: 1997/06/10 早期公開日: - 改訂日: -
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訂正情報
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 論文受付日 訂正内容: 訂正後 : 19970610
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 論文タイトル 訂正内容: 訂正前 : 講座
訂正後 : マイクロマテリアル
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 論文サブタイトル 訂正内容: 訂正後 : 3. マイクロエレメント加工法
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 著者情報 訂正内容: 訂正後 : 浅野 種正1)
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 所属機関情報 訂正内容: 訂正後 :1) 九州工業大学マイクロ化総合技術センター
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: キーワード情報 訂正内容: Right : Micromaterial, Microfabrication, Micromachining, LIGA, Fast atom beam, Anodization, Beam induced process
訂正日: 2009/06/03 訂正理由: - 訂正箇所: 引用文献情報 訂正内容: 訂正後 : 1) 古川静二郎, 浅野種正,“超微細加工入門”(1989) オーム社.
3) 小谷徳巳, 小牧一樹, 中西努, 森杉和司, 藤川和彦, 野村幸治,第126回ニューセラミックス懇話会/第106回センシング技術応用研究会合同研究会資料, p. 1 (1997).
8) 比嘉勝也, 西井清明, 浅野種正, 電子通信学会技術研究報告, ED96-139, p. 27 (1996).
10) 古川静二郎 (編著),“SOI 構造形成技術”(1987) 産業図書.
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