講座 「プラズマの光源応用～身近な明かりから次世代光源まで～」
プラズマの光源応用 ˜身近な明かりから次世代光源まで˜ 4.これからの光源 4.3 ランプの新用途(エキシマランプと用途)
2005 年 81 巻 12 号 p. 1012-1015
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2005 年 81 巻 12 号 p. 1012-1015
There are many lamp applications according to each spectrum characteristics. Ultraviolet radiation lamp is used for lithography, curing and medicals. In this paper, Excimer lamp is introduced and its applications are described.
