真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
解説
窒素大気圧グロー放電プラズマと化学気相蒸着法への応用
末富 英一, 辻 稔夫, 福田 和浩, 齋藤 篤志, 深沢 孝二, 西脇 彰
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2005 年 48 巻 2 号 p. 62-66

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