真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
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電子ビーム物理蒸着（EB-PVD）法によるセラミックス膜のナノコーティング技術開発
松原 秀彰
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2006 年 49 巻 6 号 p. 363-367

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