真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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解説
ターボ分子ポンプの性能試験方法に関する標準化の現状
金戸 成平田 正紘
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2007 年 50 巻 8 号 p. 520-523

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抄録
  Standardization of measurement of performance characteristics of vacuum pump in Japan is described. A draft of the standard was prepared based on the ISO 5302 (Vacuum technology—Turbomolecular pumps—Measurement of performance characteristics).
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© 2007 日本真空協会
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