真空技術
Online ISSN : 1883-7182
ISSN-L : 1883-7182
眞空ポンプ
熊谷 寛夫柴田 英夫
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1951 年 2 巻 1 号 p. 1-5

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抄録
真空ポンプにはピストンポンプ、エジェクター、回転ポンプ、拡散ポンプなどいろいろの種類のものがあるが、こゝでは主として高度の真空を得る目的に用いられる油回転ポンプ、拡散ポンプ、及びブースターポンプについてのみ述べる。
高真空は従来は物理学の実験や、真空管工業などのごく一部の工業にしか用いられなかつたが、こゝ十数年間にMgやCuの金属の真空製錬、食料品の乾燥、PenicillinやB.C.Gの乾燥、分子蒸溜、レンズの反射防止膜の蒸着等実に多くの分野に応用されるようになつた。このように真空が工業に大規模にとり入れられるようになるにつれて、真空ポンプの面でも従来は考えられもしなかつたような大型の大容量のものがつくられるようになり、工業的見地からみても種々の新らしい問題があるように思われる。
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