ガスの透過性を利用した標準リークの研究

抄録

シリコンゴムの薄膜を通して, ガスが透過する姓質を利用して, 標準リークの作成が可能であることを論じ, これによつて作られた標準リークについて実験的研究の結果を述べる。
従来10^-6mmHge/sec台以下のリークを作ることはなかなか困難であつたが、われわれの場合リークの大きさは薄膜の幾何学的寸法のみで規正されるので, 10^-7mmHgesec以下のものでも容易に実現出来る。