清浄な真空の生成-排気系と容器壁の諸問題-

真空

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清浄な真空の生成-排気系と容器壁の諸問題-

I 清浄な排気系と油蒸気分子による汚染

小宮宗治

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ジャーナルフリー

1973 年 16 巻 10 号 p. 352-357

DOI https://doi.org/10.3131/jvsj.16.352

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