真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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電子ビーム加熱を用いた反応性ガス蒸発法によるTiN, ZrN, HfNおよびAIN超微粒子
早川 謙二, 岩間 三郎
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1982 年 25 巻 4 号 p. 320-322

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