真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
Carbon蒸着膜におけるスパッタ率の基板依存性
丹羽 博昭, 小早川 幹夫, 種村 誠太, 斎藤 和雄
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1983 年 26 巻 5 号 p. 428-431

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