真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
反応性イオンビームスパッタ法によるZr-N薄膜の作製
吉竹 正明, 小川 倉一, 滝口 勝美
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1983 年 26 巻 5 号 p. 503-506

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