真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄によるステンレス鋼の放出ガス低減
伊藤 明子, 石川 雄一, 河辺 隆也
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1987 年 30 巻 5 号 p. 276-279

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