真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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SF6ガス凝縮層を用いたクライオソープションポンプによるHe排気実験
柴沼 清中村 和幸柴田 猛順田中 茂
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1988 年 31 巻 5 号 p. 311-314

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