真空
Online ISSN : 1880-9413
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負に帯電した石英ガラス基板上のa-Si1-xCx : H薄膜におけるXPSスペクトルのシフト
鈴木 佳子中村 高遠斎藤 順雄中西 洋一郎島岡 五朗
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1988 年 31 巻 5 号 p. 402-405

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