真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
反応性rfスパッタリングによるZnO : Al薄膜の真空中アニーリング
伊ケ崎 泰宏, 井上 尚実, 筒井 匠司, 島岡 五朗
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1988 年 31 巻 5 号 p. 511-514

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