真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
超高真空3軸微動テーブルの試作と評価
佐伯 宏, 山形 豊, 樋口 俊郎, 石丸 肇
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1990 年 33 巻 3 号 p. 248-250

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