真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
BN処理をした小型真空容器からのガス放出挙動
土佐 正弘吉武 道子吉原 一紘
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1991 年 34 巻 1 号 p. 62-64

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