真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
プラズマCVD法による多孔質ガラスへの窒化チタンの被覆
田村 繁治, 矢澤 哲夫, 三原 敏行, 木村 三郎, 石田 正, 中島 貞夫
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1991 年 34 巻 3 号 p. 335-338

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