真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
4元同時蒸着用電子ビーム蒸発源 (テトラガン) の開発
山本 久, 小林 正彦, 大迫 信治
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1991 年 34 巻 7 号 p. 593-595

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