真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
Sensitivity Calibration of Ionization Gauges for Various Gases Using a Spinning Rotor Gauge (SRG)
Sang Ryul IN, Sunao TAKAHASHI, Hidemi DAIBO, Takashi MARUYAMA, Shigeru YOKOUCHI, Suck Hee BE
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1991 年 34 巻 7 号 p. 601-604

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