真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
SF6, N2, Ar凝縮層を用いたクライオソープションポンプによるHe排気実験
寺門 拓也, 柴沼 清, 栗山 正明, 秋野 昇, 田中 茂, 大楽 正幸
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1992 年 35 巻 3 号 p. 331-334

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