真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
低気圧SF6RF放電の周波数依存
石川 稜威男, 菅ノ又 伸治, 雨宮 達之, 秋津 哲也, 斉藤 幸典
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1992 年 35 巻 3 号 p. 356-359

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