真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
ISSN-L : 0559-8516
ボロン蒸発による酸素不純物制御
森 貴叙, 赤石 憲也, 久保田 雄輔, 本島 修, 船戸 康幸, 虫明 基, 花岡 裕
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1992 年 35 巻 7 号 p. 642-645

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