真空
Online ISSN : 1880-9413
Print ISSN : 0559-8516
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酸化膜作成用小型イオン源の試作 (II)
村上 寛, 綿引 和実, 岩崎 晃, 工藤 勲
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1993 年 36 巻 3 号 p. 271-274

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